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舱体最上面是一块大的圆形金属挡板,以及一个可以旋转的样品台。
“上面这个肯定是样品台了,为什么下面要加装一块金属挡板呢?”许秋问道。
“这块金属挡板叫做样品挡板,当他处于开启状态时,可以有效阻挡气体分子沉积在样品表面。因此,我们可以利用它,控制蒸镀的开始和结束时间,得到精确的厚度。”陈婉清道。
将舱内情况了解完毕后,许秋开始做蒸镀前的准备工作。
两批基片的器件结构不同,需要分两次进行蒸镀。
第一批是正常结构,也就是蒸镀钙和铝。
许秋首先在钨篓中装满纯度的铝锭,然后让学姐帮忙打开钙束源炉的挡板。
挡板的开关是数控的,需要在手套箱外的总控台操作。
打开挡板后,他取出束源炉内部的陶瓷坩埚,将上次使用后剩余的残渣倒出,再加入两勺新的纯度的钙粉末。
陶瓷坩埚是特质的,可以至少承受摄氏度以上的高温,且十分稳定,不会与靶材反应,产生杂质。
完成后,他让学姐关闭束源炉挡板。
最后,他将一片片基片正面朝下放置在样品支架上,再将样品支架放回样品台。
“学姐,没有问题吧,可以关舱门了吗。”许秋看向陈婉清。
“嗯嗯。”陈婉清点点头。
许秋将舱门从右往左推回原位,然后旋转舱门上下的两个旋钮,直至无法转动为止。
……
许秋离开手套箱,和学姐一同来到总控台,因为剩下的操作主要在总控台完成。
总控台接近两米高,由十几个模块拼接而成,一共有多个控制按钮。
“旁边有操作说明,严格按照说明来做就行。”陈婉清道。
许秋拿起《真空镀膜仪使用说明》翻看,只有两页纸,并没有想象中的多。
他表面上在看说明书,实则在心中查看系统。
系统已经将学姐的技能复制了,可以看到每步操作的细节,所以文字版的说明书意义已然不大。
“我看完了。”许秋道。
“这么快?”陈婉清道“行,那你来操作吧,有什么问题我会提醒你的。”
第一步是打开循环水系统和空气泵。
前者用来冷却分子泵,而后者用来推动样品挡板。
许秋找到位于总控台后面的循环水装置,按下绿色的启动键,便听到仪器发出嗡鸣声,仔细听的话还有水流声。
然后,他走到空气泵旁边。
空气泵上有一个橙红色的瓶盖大小的开关,需要拉起来,才能启动机器。
许秋试着向上拉,开关却纹丝不动,他也不敢太用力,便说道
“学姐,怎么弄。”
“用力弄啊。”
“砰!” 。
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