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第十六章 旋涂（第2页）

……

“什么味道。”

许秋突然闻到一股淡淡的鱼腥味。

他很快反应过来，应该是臭氧泄露了。

因为臭氧的毒性较低，他也没去专门戴个防毒面具，直接提起一口气，走到臭氧发生器旁边。

先将仪器停掉，然后开始检查。

仪器门关闭的严严实实，仪器后端的橡胶软管也连通着窗户外面。

看起来一切正常，那么气味是怎么散出来的呢？

难道是那里？

许秋心中有了推断，他找到工具箱，从中翻出一卷的黑色电工胶布，然后带着胶布返回臭氧发生器。

这时臭氧的味道已经逸散的差不多了。

他绕到仪器后面的软管处，仔细的一段段检查。

果然，有一处橡胶软管因老化而产生了裂纹，而且从断裂痕迹来看，应该是刚断裂不久的。

许秋用胶布将裂纹处粘好。

再次开启仪器，这次闻不到臭氧的味道了。

不过，用胶布粘只是权宜之计，最佳的方法还是更换一根新的橡胶管。

于是，许秋喊道

“学姐，臭氧发生器的软管裂开了，我现在先用胶布粘住了，之后需要领用一根新的管子。”

“好的，我记下了。”陈婉清道。

解决了这个小麻烦后，许秋待臭氧发生器的倒计时结束后，继续实验。

他将培养皿从仪器中取出，用镊子夹取一片基片，将基片放在匀胶机的平台上。

平台下面有一小孔，连接着真空泵，用来确保在高速旋转过程中，基片不会移动。

他设定好匀胶机的参数，转速是转每分钟，旋转时间设为秒。

然后用针筒挤出约毫升的溶液到基片中央，再用过滤头的末端拖动液面，使溶液覆盖满整个基片。

接着按下启动键，匀胶机自动开启真空泵，并按照预设的参数运行，待平台完全停止转动后，自动关闭真空泵。

又是一个类似于超声波清洗仪的傻瓜式机器。

许秋用镊子夹起旋涂好的基片，仔细检查，发现旋涂的非常完美，蓝紫色的薄膜覆盖了整个基片，而且薄膜表面光滑，没有孔洞。

将基片放回原培养皿，继续夹起下一片。

重复旋涂次后，片完美，仅有一片略有瑕疵，只涂上了四分之三的面积。

许秋将有瑕疵的那片丢入旧基片盒子中。

接下来，是热退火步骤。

对于:薄膜来说，退火的主要作用是除掉其中残留的水分，所以只需要温度比水的沸点稍高即可。

许秋将旋涂好的基片连带着培养皿，置于设定温度为摄氏度的加热台上，然后按下秒表进行计时。

一般需要分钟以上。

等待时间较长，许秋回到办公桌，打算喝口水，休息一会儿。

突然，旁边的学姐冷不丁的问了一句“许秋，你对未来有什么打算呀？”

许秋差点把喝到嘴里的水喷出来。　　　　。

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