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梁志远领着一帮人,浩浩荡荡地冲进生产车间。
但进入之后他们就傻眼了,因为里面很整齐,就和几天前一模一样,完全不像是被破坏的样子。
梁志远本人看到这个情况也有些愣神,但很快就清醒过来,指着面前几个人大喊道:
“你们几个,赶紧打开光刻机,去里面检查一下,看看有没有被破坏。”
“其他人,也检查一下其他的配套设施。”
“如果发现有异常情况,先不要动,联系摄影师,要拍照留个证据。”
所有人听他的吩咐,立刻分头行动,执行力很强。
但进入光刻机检查的人,在进去十几分钟后,又出来了,一脸犹豫地走到梁志远面前。
“里面什么情况,有被破坏的痕迹吗?这可是几千万美元的设备,随便坏一点都能让他牢底坐穿。”
“梁总,里……里面没有被破坏的痕迹,什么都没动,完好如初。”研究人员支支吾吾地回答。
“哦……看来他还挺识相,知道破坏了设备赔不起。”梁志远有些意外。
“但什么都没动,也恰好证明了他这几天什么都没做,白白浪费了我们几天的时间。”
“今天我们还把整条产线给停了,这里面的损失也需要他赔,光这点钱就够他喝一壶了,估计打工几十年都赔不完,嘿嘿!”
“梁总……”研究人员又犹豫了一会,还是决定说出真相,“光刻机里面还是有一点变化的!”
“那你刚才又说没有变化,到底变没变,说清楚。”梁志远有些生气。
“梁总,你……你还是自己进去看一下吧!”
梁志远看着手下欲言又止的样子,先是感到疑惑,但他马上又联想到了一点什么,突然意识到事情有些不妙,立即将眼前的人推开,自己进入光刻机查看。
进去之后,确实如手下所说的,里面很整齐,好像什么事都没发生。
这让梁志远瞬间松了一口气:“唉~,你吓我一跳,我以为真有什么大事呢!”
不过为了保险起见,他还是决定检查一下光刻机的各个零部件,尤其是光源系统、工作台、反射镜系统这三个核心部位。
作为中心国际的联合CEO,梁志远本身就是半导体领域的专家,对于光刻机内部是再熟悉不过了。
当初这条产线还是他亲自带人参与调试的,所以也不用其他人帮忙,他自己就能查清楚是什么问题。
但当他检查到光源系统时,突然感觉不对劲,这好像不是193纳米波长的光源。
“难道说……”梁志远又想到了那种可能,但很快就摇摇头,“怎么可能!”
继续检查。
几分钟之后……
“这……”梁志远有些不敢相信的看着眼前的光源系统,“这好像是极紫外光源系统!”
怎么可能,他明明没有带任何的材料进去生产车间,怎么会凭空更换了光刻机的光源系统呢?
这个极紫外光源系统是怎么来的?
想到这,梁志远对着周围的人喊道:“快快快,你们也检查一下这个光源系统!”
刚才向他汇报情况的研究人员答道:“梁总,刚才我们仔细检查过了,好像真的是13.5纳米的极紫外光。”
如果刚才梁志远还有点不相信的话,现在他内心直接凌乱了!
“不可能,不可能!”
说完,他又去检查了光刻机的其他零部件,还有光刻机外的显影、蚀刻等设备,发现都和原来不一样了。
以他几十年的半导体从事经验来看,这就是一台货真价实的第五代EUV光刻机。
确定了这一信息之后,梁志远也不在乎周围人的目光,直接瘫坐在地上,口中还喃喃自语:“这不符合科学常识,这不符合科学常识……”
……
此时,已经接到汇报的任总、中心国际董事长也及时赶到生产车间内,他们刚才一直在办公室内休息,并未守在车间外。
俩人看到瘫坐在地上、已经有些不正常的梁志远,心里已经大概有底了,但还是向现场的研究人员确认:
“检查清楚了吗?这是不是第五代光刻机?”
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